三
離子切割儀可以靈活選擇多種樣品臺(tái)，不僅適用于高通量實(shí)驗(yàn)，也適合于特定制樣需求實(shí)驗(yàn)室。對(duì)地質(zhì)樣品中的油頁巖、煤層、礦石、土壤和沉積物等多種類型，對(duì)這些樣品進(jìn)行制樣處理的主要操作就是獲得一個(gè)無損傷的平整面。機(jī)械切割和機(jī)械磨拋很難避免處理過程中造成樣品的微觀組織破壞和磨料污染現(xiàn)象。特別是在掃描電鏡高放大倍數(shù)的形貌觀察下，地質(zhì)樣品的微觀結(jié)構(gòu)破壞非常明顯。三離子切割儀采用離子束轟擊樣品表層區(qū)域進(jìn)行切割，是一種無機(jī)械應(yīng)力破壞和無磨料污染的表面處理方式。經(jīng)過離子束制備的樣品，適合于掃描電鏡進(jìn)行高放大倍數(shù)的形貌觀察。
離子切割儀集成鋸片切割、鉆孔、磨拋等多功能于一體，可高效加工樣品至合適的尺寸，為下一步的離子束切割或拋光做準(zhǔn)備。用氬離子束加工樣品的方式有兩種：一種是離子束切割，另外一種是離子束拋光。離子束切割需要一片擋板安裝在樣品和離子槍之間，離子束切掉樣品露出擋板的部分。通常要求樣品露出擋板的高度不超過100μm，樣品加工之后的形狀成拋物線型。
離子束切割這種加工方式特別適合脆弱易碎樣品或微觀結(jié)構(gòu)內(nèi)軟硬結(jié)合的樣品，去除深度達(dá)數(shù)10微米至100微米，有效去除應(yīng)力層和污染層，但其局限性是加工面積較小，標(biāo)準(zhǔn)尺寸為1mm·4mm。
離子束拋光模式不需要放置擋板，樣品在加工時(shí)保持旋轉(zhuǎn)和左右移動(dòng)，其優(yōu)點(diǎn)是拋光區(qū)域大，滿足地質(zhì)樣品大范圍形貌觀察的需要。但做好離子束拋光的前提是樣品表面適合做機(jī)械拋光，且能拋光至鏡面狀態(tài)。地質(zhì)樣品要進(jìn)行能譜儀的元素分析，或電子背散射衍射的微觀結(jié)構(gòu)分析，也可以選擇用三離子切割儀的進(jìn)行離子束拋光
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